JEOL Ltd. a mis au point le « LazEdge », un système de microscopie électronique à balayage (MEB) équipé d'un dispositif d'usinage laser, dont la commercialisation débutera le 25 mai 2026. Les instruments de préparation de coupes transversales, tels que les systèmes à faisceau d'ions focalisés (FIB), sont largement utilisés dans les domaines scientifiques et technologiques au sein des instituts de recherche, des universités et de l'industrie. Ces dernières années, la demande s'intensifie pour des systèmes capables de traiter de grandes surfaces à haute vitesse, tout en garantissant une qualité de surface irréprochable.
Le « LazEdge » est un instrument intégrant le MEB de JEOL à la technologie laser exclusive de Hamamatsu Photonics K.K., permettant ainsi l'usinage laser directement à l'intérieur de la chambre à spécimens du microscope électronique. Ce système permet de transférer sans interruption des échantillons de coupes transversales de haute qualité, produits par un usinage rapide sur de grandes surfaces, vers des analyses ultérieures — telles que l'observation MEB, l'analyse élémentaire et l'analyse d'orientation cristalline — sans aucune exposition à l'environnement extérieur.
Par conséquent, il répond à un large éventail de besoins analytiques, notamment l'analyse de spécimens métalliques, l'analyse de batteries nécessitant une isolation de l'air, et l'analyse de défaillances de semi-conducteurs exigeant un sectionnement transversal rapide. Système MEB Laser LazEdge [Principales caractéristiques] 1) Sectionnement transversal de haute qualité à l'intérieur de la chambre à spécimens : En intégrant un système d'usinage laser au MEB, le LazEdge réalise des coupes transversales de haute qualité sur de grandes surfaces, avec une réduction des structures LIPSS (structures de surface périodiques induites par laser) à haute vitesse. Cela est rendu possible par un système optique propriétaire permettant une modulation de phase spatiale du faisceau laser. 2) Usinage stable et propre grâce au « LazEdge Shield ».
La technologie de blindage exclusive « LazEdge Shield » minimise la dispersion des débris générés lors de l'usinage, assurant un processus propre sans contamination des détecteurs, des colonnes ou des parois de la chambre à spécimens. De plus, le système laser peut se focaliser simultanément sur la zone d'usinage du spécimen et sur la position d'irradiation laser sur le blindage. Cette technologie permet d'effectuer l'usinage et le nettoyage du blindage (prévention de la contamination) de manière concomitante.
Ces technologies garantissent un sectionnement de haute qualité tout en maintenant une puissance stable en permanence. 3) Usinage et observation fluides à haut débit : L'installation d'un blindage à l'intérieur de la chambre à spécimens du MEB et la réalisation de l'usinage in situ permettent d'enchaîner l'usinage et l'observation de manière fluide avec un rendement élevé. Par exemple, pour les mesures par diffraction d'électrons rétrodiffusés (EBSD), l'usinage laser seul peut produire une coupe transversale d'une qualité suffisante pour l'analyse.
En répétant automatiquement l'usinage et la mesure, l'acquisition EBSD en 3D est également possible. [Objectif de vente] 10 unités par an.
