JEOL Ltd. a annoncé le lancement du système FIB-SEM oJIB-PS500io le 1er février 2023. Avec la structure plus fine des matériaux avancés et la complexité croissante des processus, les techniques d'évaluation telles que l'observation morphologique et l'analyse élémentaire nécessitent une résolution et une précision plus élevées. Dans la préparation des échantillons pour les microscopes électroniques à transmission (TEM) dans l'industrie des semi-conducteurs ainsi que dans les domaines des batteries et des matériaux, une "plus grande précision" et un "échantillon plus fin" sont requis.

Ce produit est un système combiné du système FIB (Focused Ion Beam) qui peut traiter avec une grande précision et du SEM (scanning electron microscope) de haute résolution pour satisfaire ces besoins. Caractéristiques principales : La colonne FIB permet le traitement avec un faisceau d'ions Ga à grand courant jusqu'à 100nA. Le traitement à haut courant est particulièrement efficace pour préparer des échantillons de section transversale pour l'imagerie et l'analyse de grande surface.

En outre, la colonne FIB est réglée sur une distance de travail plus courte. Associée à une alimentation électrique nouvellement développée, elle a permis d'améliorer considérablement les performances de traitement à une faible tension d'accélération. Un nouveau système de lentille super conique est intégré à la colonne SEM, améliorant considérablement la résolution de l'image à une faible tension d'accélération.

Cette superbe imagerie est très utile pour vérifier l'état de fraisage du point final d'un spécimen de lamelle à l'aide du MEB. Le JIB-PS500i adopte une grande chambre à spécimen et une nouvelle platine à spécimen, ce qui augmente la plage de mouvement de la platine et permet d'accueillir un grand spécimen. En outre, un détecteur STEM nouvellement développé, qui peut être utilisé avec la platine inclinée à 90 degrés, permet une transition transparente entre la préparation de l'échantillon TEM et l'observation STEM.

Pour l'interface graphique d'exploitation, l'oSEM centero, qui a été bien accueilli dans la série JSM-IT800 de microscopes électroniques à balayage à haute résolution, est employé, permettant l'intégration complète de l'analyse EDS. Une cartouche à double inclinaison et un support TEM dédié permettent un alignement plus précis tout en facilitant le transfert des spécimens entre TEM et FIB.