Spirox Corporation, en collaboration avec sa filiale Southport Corporation, a lancé conjointement le premier système d'inspection non destructive des défauts JadeSiC-NK. JadeSiC-NK utilise une technologie optique non linéaire avancée pour scanner l'ensemble des substrats SiC et identifier les défauts mortels à l'intérieur du substrat. Il remplace la méthode actuelle de détection de gravure KOH (hydroxyde de potassium), coûteuse et destructrice, ce qui permet d'augmenter les rendements de production et d'améliorer les processus.

En se basant sur la nécessité de graver deux substrats pour chaque lingot de SiC, JadeSiC-NK peut permettre à un fabricant de substrats disposant de 100 fours de croissance cristalline d'économiser environ 7,68 millions de dollars en coûts annuels dus aux pertes de gravure. La qualité des matériaux de substrat pour les semi-conducteurs composés détermine la fiabilité et les performances des puces SiC. Cependant, la croissance des cristaux de SiC est lente et les défauts des cristaux du substrat ne peuvent actuellement être inspectés que par échantillonnage et interpolation mathématique avec la méthode de gravure destructive au KOH.

Le coût des processus de fabrication des puces en SiC est donc constamment élevé. Les principaux fabricants de substrats SiC du monde entier investissent de manière proactive dans l'expansion des capacités et l'amélioration des processus afin d'accroître leur part de marché. Si les fabricants de substrats et de composants SiC peuvent mettre en œuvre une inspection non destructive complète des matériaux dans le processus de fabrication, cela permettra non seulement de réduire l'utilisation de solutions chimiques nocives associées à la gravure KOH, mais aussi de détecter les défauts à un stade précoce.

Cela permet à son tour d'améliorer efficacement le processus, d'augmenter le rendement et, en fin de compte, de démontrer un avantage significatif sur le marché des semi-conducteurs composés. JadeSiC-NK, quant à lui, utilise une technologie optique non linéaire avancée, permettant un balayage de la surface de la plaquette entière à une profondeur spécifique pour fournir des informations sur la structure cristalline, offrant des détails sur la densité et la distribution des défauts cristallins, et permettant aux clients d'évaluer efficacement la qualité du substrat pour assurer la stabilité de la qualité et de la performance des composants produits. Par rapport à la méthode actuelle de gravure au KOH, qui implique l'inspection de deux substrats à partir de lingots de SiC tranchés, JadeSiC-NK permet de réduire considérablement le temps d'inspection et le coût des substrats.

Par exemple, pour un four de cristallisation produisant quatre lingots par mois, JadeSiC-NK permet d'économiser pour chaque lingot le coût de deux substrats (calculé à 800 dollars par substrat de 6 pouces), ce qui représente une économie annuelle estimée à plus de 70 000 dollars par four. Pour un fabricant de substrats disposant de 100 fours, cela représente une économie annuelle de 7,68 millions de dollars ! En outre, JadeSiC-NK permet d'inspecter 100 % des plaquettes d'un même lingot, ce qui facilite l'analyse détaillée des lingots et la traçabilité des lots, ce qui aidera les clients à accélérer l'optimisation des processus et des rendements sur le marché des semi-conducteurs composés de haute technologie.

Le système JadeSiC-NK lancé par Spirox et Southport applique la technologie optique non linéaire à l'inspection et à l'analyse des semi-conducteurs composés. Cette innovation devrait permettre de surmonter les goulets d'étranglement techniques de l'industrie actuelle en matière de production de masse et d'amélioration des processus, ce qui donnera un élan considérable au développement de la chaîne industrielle. On espère que JadeSiC-NK, avec sa technologie d'inspection plus efficace et plus stable, établira des normes industrielles pour l'inspection des substrats SiC, devenant ainsi une marque de premier plan dans l'industrie de la technologie optique non linéaire.

Cela conduira à une innovation continue et à des percées dans les applications du marché. La création du laboratoire d'inspection avancée des opto-matériaux permet à la technologie unique d'inspection optique de pénétrer rapidement le secteur industriel. Grâce aux vérifications répétées des clients, les spécifications des produits sont ajustées pour répondre à leurs besoins.

Outre l'application de la technologie optique non linéaire au JadeSiC-NK récemment lancé, il est prévu d'accélérer la commercialisation de technologies d'inspection optique avancées dans des domaines tels que les microLED, les métamatériaux, la photonique du silicium, etc. Spirox continuera d'accroître ses efforts de recherche et de développement, en intégrant efficacement les ressources du groupe pour maximiser les synergies.