PARK SYSTEMS CORP. Park Systems Corp. a présenté son tout dernier produit, le Park NX-IR R300, un système de spectroscopie infrarouge (IR) à l'échelle nanométrique pour les applications industrielles. Le Park NX-IR R300 est un système de spectroscopie infrarouge et de microscopie à force atomique intégré en un seul, pour des tranches de semi-conducteurs allant jusqu'à 300 mm.
Il fournit des informations sur les propriétés chimiques ainsi que des données mécaniques et topographiques pour la recherche sur les semi-conducteurs, l'analyse des défaillances et la caractérisation des défauts à une haute résolution nanométrique sans précédent. Le Park NX-IR R300 combine la spectroscopie IR la plus avancée de la microscopie à force photo-induite (PIFM) sur la plateforme AFM 300 mm du Park NX20, leader du secteur. La spectroscopie PIFM permet une identification chimique sous une résolution spatiale de 10 nm.
Elle utilise une technique sans contact qui propose un sondage spectroscopique sans dommage, une résolution et une précision plus élevées tout au long des balayages. En outre, le Park PIFM fournit à l'utilisateur des informations de spectroscopie à différentes profondeurs, proposant ainsi un aperçu inestimable de la composition de l'échantillon.
