Le système de dépôt par faisceau d'ions de Veeco a été choisi par un fournisseur de masques pour les masques EUV.
Le 10 février 2022 à 14:00
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Veeco Instruments Inc. a annoncé qu'un fournisseur de masques vierges pour l'industrie des semi-conducteurs a commandé le système de dépôt par faisceau d'ions (IBD-LDD®) de Veeco. Le système IBD sera utilisé pour répondre à la demande croissante de masques vierges à ultraviolets extrêmes (EUV) utilisés pour créer des dispositifs à semi-conducteurs liés aux applications de logique et de mémoire avancées. Ce nouveau client acquiert la technologie IBD de Veeco pour les ébauches de masque EUV à faible taux de défaut destinées à la production en grande série. La technologie IBD de Veeco est à la pointe de l'industrie en matière de qualité de film élevée, avec une densité de défauts extrêmement faible et un contrôle précis des propriétés optiques pour les processus à une ou plusieurs couches. Ces caractéristiques technologiques sont nécessaires pour une fabrication EUV sans défaut et en grand volume. Actuellement, tous les principaux fabricants d'ébauches de masques EUV utilisent le système IBD-LDD de Veeco.
Veeco Instruments Inc. est un fabricant d'équipements de traitement des semi-conducteurs. Les technologies de recuit laser, de faisceau d'ions, de dépôt chimique en phase vapeur (CVD), de dépôt chimique organique en phase vapeur (MOCVD), de gravure et de nettoyage de plaquettes uniques et de lithographie jouent un rôle essentiel dans la fabrication et l'emballage de dispositifs semi-conducteurs avancés. Les produits de la société comprennent les systèmes de recuit au laser, les systèmes à faisceaux d'ions et les systèmes de gravure, la lithographie d'emballage avancée, le traitement humide d'une seule plaquette, les systèmes de dépôt chimique en phase vapeur métal-organique, les systèmes d'épitaxie par faisceaux moléculaires, les systèmes de dépôt par couches atomiques et d'autres systèmes. Ses autres systèmes de dépôt comprennent le dépôt physique en phase vapeur, le dépôt de carbone en forme de diamant et les systèmes de dépôt chimique en phase vapeur. Ses systèmes d'équipement de traitement sont utilisés dans la production d'une gamme de composants microélectroniques, y compris la logique, la mémoire dynamique à accès aléatoire (DRAM), les dispositifs photoniques, l'électronique de puissance et d'autres dispositifs à semi-conducteurs.
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