Advanced Energy Industries, Inc. a dévoilé le réseau d'adaptation d'impédance NavX, doté d'algorithmes et d'une communication directe avec le générateur, qui permet d'atteindre des niveaux supérieurs de contrôle précis et reproductible du plasma, ce qui est essentiel pour la fabrication à l'échelle de l'angström. Les procédés de gravure des semi-conducteurs de la prochaine génération exigent des niveaux sans précédent de contrôle du plasma pendant les impulsions rapides, les transitions fréquentes et les recettes plus longues qui sont nécessaires pour fabriquer des puces plus petites, plus rapides et plus efficaces avec des structures 3D plus complexes. Le réseau d'adaptation NavX d'Advanced Energy est spécialement conçu avec une communication directe entre l'adaptation et le générateur et un réglage ultra-rapide qui s'appuie sur le matériel AE et des algorithmes propriétaires. Cela permet une adaptation d'impédance synchronisée par radiofréquence pendant les états d'impulsion multiniveaux pour un contrôle précis des caractéristiques du plasma.

NavX se synchronise directement avec le générateur RF eVerest et intègre les algorithmes propriétaires Advanced Selectable Tuning et Velocity Tuning qui optimisent les vitesses de réponse pour les séquences d'impulsions. La plage de fréquences de +/- 10 % du système permet un réglage plus rapide et l'accès à une gamme d'impédance plus large. L'immunité à la distorsion d'intermodulation (IMD) maintient la précision de l'accord dans les applications multifréquences, et les états d'impulsion évolutifs permettent d'accéder à de nouveaux régimes d'énergie.

Le réseau d'adaptation NavX est entièrement compatible avec la plateforme IoT PowerInsight by Advanced Energy®, qui offre un accès rapide à des données exploitables de haute résolution qui soutiennent l'optimisation des processus.