ACM Research, Inc. a annoncé des commandes en volume de 29 outils de banc humide Ultra C wb pour des applications de plaquettes de 300 mm. Les commandes proviennent de plusieurs clients basés en Chine et comprennent des commandes répétées de 16 outils de la part d'un client de fonderie émergente pour soutenir l'expansion continue de sa fabrique. Les livraisons sont prévues en deux phases, commençant dans la première moitié de 2022. Ces commandes valident la stratégie d'ACM d'étendre son portefeuille au-delà du nettoyage avancé avec une offre de produits hautement compétitifs. L'obtention de commandes en volume de la part de nouveaux clients et de clients réguliers témoigne de la réussite à la fois du client de la fonderie et du marché plus large du banc humide. Les entreprises y voient une démonstration claire de leur capacité technique, de leur leadership croissant sur le marché et de leur capacité à répondre à la demande des clients. Associés à des technologies sèches avancées, les produits de banc d'ACM peuvent couvrir presque toutes les étapes du processus de nettoyage qui nécessitent un nettoyage de banc. En outre, ACM a présenté sa technologie de séchage à ultra basse pression pour les systèmes de banc de 300 mm. Ce procédé est spécialement conçu pour atténuer les problèmes de séchage après le nettoyage sur banc associés aux structures à haut rapport d'aspect des dispositifs logiques et NAND 3D sur les plaquettes de semi-conducteurs avancés. Le nouveau module de banc ULD d'ACM utilise un processus de séchage à l'alcool isopropylique à basse pression pour répondre à ces exigences pour la plupart des processus de banc clean dry, y compris le nettoyage avant le four, le nettoyage après l'implantation d'ions et l'élimination de la photoréserve après la gravure à sec, le nettoyage après la planarisation chimique et mécanique, et le pré-nettoyage avant le dépôt de film, la gravure d'oxyde et l'élimination de nitrure. ACM a expédié son premier module ULD à un important fabricant de semi-conducteurs de mémoire basé en Chine au troisième trimestre de 2021, et ACM pense que les données initiales du processus valident l'efficacité du module ULD dans la fabrication de nœuds avancés.